Drucksensoren

Protron hat ein Absolutdruck-Sensorsystem mit einem hochminiaturisierten kapazitiven Sensor-Chip entwickelt. Der Sensor-Chip wird mittels Oberflächenmikromechanik auf einem Quarzsubstrat gefertigt, wodurch parasitäre Kapazitäten minimiert werden. Das kapazitive Prinzip gewährleistet eine langzeitstabile hohe Genauigkeit und eine minimale Hysterese im Vergleich zu piezoresistiven Drucksensoren. Der Sensor und ein 14bit A/D-Wandler werden in einem 5x5mm² Keramikgehäuse integriert. Das System wird über eine I²C-Schnittstelle gesteuert. Eine einfache externe Schaltung ermöglicht die Programmierung und Kalibrierung des Sensors.