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Microoptics Micro-optical components and systems are used in information- and telecommunication technologies, optical storage devices, measuring and analytical instruments. Typical components are fiber couplers/connectors, waveguides, lenses, slits, gratings, and mirrors which can be fabricated in silicon, glass, or polymers. Protron Mikrotechnik uses silicon wet chemical and deep reactive ion etching (DRIE) for the fabrication of micro-optical components. These technologies allow the fabrication of high precision parts combined with a high design flexibility.
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Reference Projects fiber alignment and handling systems
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Silicon alignment structures for fiber arrays
High precision aperture (10µm slit) |
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Protron Mikrotechnik GmbH -
Universitaetsallee 5 - 28359 Bremen - Germany - e-mail info@protron.de
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